如何提高反應離子刻蝕後圖形的完整性和分辨率

在腐蝕液中加入保護劑等添加劑，以減小鉆蝕。兼有離子濺射刻蝕和等離子化學刻蝕的優點，不僅分辨率高，同時兼有各向異性和選擇性好的優點，而且刻蝕速率快。通過改變RIE刻蝕參數如：射頻功率、腔體壓強。

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