1、按等離子焰溫度分：
（1） 高溫等離子體：溫度相當於108~109K完全電離的等離子體，如太陽、受控熱核聚變等離子體。
（2）低溫等離子體：
熱等離子體：稠密高壓（1大氣壓以上），溫度103~105K，如電弧、高頻和燃燒等離子體。
冷等離子體： 電子溫度高（103~104K）、氣體溫度低,如稀薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質阻擋放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2、按等離子體所處的狀態：
（1）平衡等離子體：氣體壓力較高，電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應等離子體。
（2）非平衡等離子體：低氣壓下或常壓下，電子溫度遠遠大於氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應輝光放電，大氣壓下DBD介質阻擋放電等產生的冷等離子體。
低溫等離子體的發生技術
·直流輝光放電
·低頻放電等離子體
·高頻放電等離子體
·非平衡大氣壓等離子體放電
·介質阻擋放電