探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動
從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺 根據客戶需求定制
chuck尺寸：4*4 6*6 8*8 12*12 (可選）
X-Y移動行程：4*4 6*6 8*8 12*12(可選）
chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離
顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）
顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）
探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關
可搭配Probe card測試
適用領域：晶圓廠、研究所、高校等 chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調升降9mm，微調升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數6～8顆
顯微鏡X-Y-Z移動範圍2x2x2
可搭配Probe card測試
適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數8～12顆
顯微鏡X-Y-Z移動範圍2“x2”x2“
材質：花崗巖臺面+不銹鋼
可搭配Probe card測試
適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品 機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000 白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300 高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
機臺尺寸同LCD 探針臺 量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器