又稱矽氟氫酸。無水物是無色氣體。不穩定。易分解為四氟化矽和氟化氫。水溶液無色，呈強酸性反應。有腐蝕性，能侵蝕玻璃。保存於蠟制或塑料制等容器中。濃溶液冷卻時析出無色二水物的晶體，熔點19℃。氟矽酸有消毒性能。用於制氟矽酸鹽和冰晶石，並用於電鍍、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化矽溶解於氫氟酸中或混和石英粉、氟化鈣和濃硫酸後加熱而制得。也可從磷肥廠中分解磷礦時逸出的四氟化矽氣體用水吸收而得。
物理性質
外觀與性狀：其水溶液為無色透明的發煙液體，有刺激性氣味。
EINECS號 241-034-8
相對密度（水=1）：1.32(約)
沸點(℃)：108.5
溶解性：溶於水。
分子結構數據：
1、摩爾折射率：無可用的；
2、摩爾體積（m3/mol）：無可用的；
3、等張比容（90.2K）：無可用的；
4、表面張力（dyne/cm）：無可用的；
5、介電常數：無可用的；
6、極化率：無可用的；
7、單壹同位素質量：143.982995 Da；
8、標稱質量：144 Da；
9、平均質量：144.0918 Da。
化學性質
酸性比硫酸還強，受熱分解放出有毒的氟化物氣體。具有較強的腐蝕性。
計算化學數據：
1、疏水參數計算參考值（XlogP）：無；
2、氫鍵供體數量：0；
3、氫鍵受體數量：7；
4、可旋轉化學鍵數量：0；
5、互變異構體數量：無；
6、拓撲分子極性表面積（TPSA）：0；
7、重原子數量：7；
8、表面電荷：0；
9、復雜度：62.7；
10、同位素原子數量：0；
11、確定原子立構中心數量：0；
12、不確定原子立構中心數量：0；
13、確定化學鍵立構中心數量：0；
14、不確定化學鍵立構中心數量：0；
15、***價鍵單元數量：3。