MEMS传感器即微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems）
是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过三十多年的发展，已成为世界第一 它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有明显的应用前景。
达拉斯到2010年， 全世界有大约600余家单位从事MEMS的报价和生产工作，已出的报价包括微型压力传感器、加速度传感器、微更新打印头、数字微镜显示器的几十种产品，其中MEMS传感器占相当多 MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
扩展资料
应用——
传感器MEMS应用 于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性最高峰的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用 人工计数很难精确测量。
而具有数字显示功能的超声波多普勒胎心监护仪，价格昂贵，少数大型医院使用，在中、小型医院及广大农村地区无法使用 另外，超声振动波对胎儿的作用，对胎儿产生很大的不利作用。虽然检测剂量很少，也有损检测解决办法，非经常性、重复性的检查及家庭使用属于。
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