甲基三氯矽烷的介紹

甲基三氯矽烷（methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform ，縮寫為MTS）甲基三氯矽烷別名甲基矽仿；三氯甲基矽烷 分子式 CH3Cl3Si；CH3SiCl3 ；甲基三氯矽烷外觀與性狀是無色液體，具有刺鼻惡臭，易潮解。