線性度是指被測物體在其測量範圍內沿某壹特定軸向的直線運動能否保持平行度的度量指標。實際上，線性度可以看作是連續位置誤差與理想直線的偏離程度。
直線度是指該物體在測量過程中得到的數據是否遵循壹條直線，也就是物體相應軸線在成像平面上的投影是否符合壹條直線的情況下，對整體質量的評價。
雙頻激光幹涉儀通過測量光束幹涉的相位差來間接測量線性度和直線度。其工作原理是利用激光發出的兩個不同頻率的激光束進行幹涉，通過測量相位差獲得被測物體的位移信息。對於線性度的測量，雙頻激光幹涉儀可以通過分析幹涉波的相位信息，判斷被測物體是否在直線上移動。對於直線度的測量，幹涉儀可以通過測量不同位置處的相位差來判斷被測物體是否在壹條直線上。
因此，雙頻激光幹涉儀在測量線性度時主要關註被測物體在某壹特定軸向的直線運動情況，而在測量直線度時則關註整體質量的評價。需要註意的是，雙頻激光幹涉儀的測量精度與儀器本身的性能以及被測物體的特性密切相關。