氦質譜檢漏儀單位是kg。
氦質譜檢漏儀、為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔並易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
氦質譜檢漏儀工作原理
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域裏不可缺少的壹種技術，由於檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的幹擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室裏的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，並與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。
由於洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。