即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流量。
此方法，日系發動機常用。
相對應的另外壹種發動機常用的測量進氣量的方法是速度密度法，為歐美系發動機常用。