透明導電膜（transparent conductive film，簡稱TCF）目前最主要的應用是ITO膜，還有其他AZO等。 ITO 薄膜是壹種半導體透明薄膜 ，它是氧化銦錫( indium tin ox ide) 英文名稱的縮寫。有學者將氧化銦系列（In2O 22SnO 2）也稱之為ITO 薄膜。作為透明導電電極，要求ITO薄膜有良好的透明性和導電性。所以，此類材料的禁帶寬度E g 壹般都大於3 eV ，其摻雜組分要偏離化學計量比。ITO 薄膜的制備方法有蒸發、濺射、反應離子鍍、化學汽相沈積、熱解噴塗等，但使用最多的是反應磁控濺射法[ 1，2 ]。與其它透明導電薄膜相比，ITO 薄膜具有良好的化學穩定性、熱穩定性以及良好的圖形加工特性。