1、探針臺機械問題：上下移動和左右移動探針臺時，探針臺出現偏移，是由探針臺部件誤差或者使用壽命、加工質量較差等原因導致，更換或維修探針臺部件以解決該問題。
2、半導體晶圓加工質量問題：探針接觸半導體晶圓表面時，如果晶圓表面不平滑，探針可能會產生針偏現象。
3、軟件程序或操作問題：上下移動和左右移動探針臺時，操作人員沒有正確執行相關的程序或者操作方式不當，針偏的情況會發生。
晶圓測試探針臺是半導體制造過程中進行電學測試的設備之壹。其主要作用是將測試針頭與晶圓表面接觸，進行電學參數測試，如電阻、電容等。