據統計，1984共189條SO2控制工藝，目前有200多條。主要可分為四大類:(1)燃燒前控制-原煤凈化(2)燃燒中控制-流化床燃燒(CFB)和燃燒後控制-煙氣脫硫(4)新工藝(如煤氣化/聯合循環系統和液態排渣燃燒器)，其中大多數國家采用燃燒後煙氣脫硫工藝。石灰石/石膏濕法脫硫工藝是煙氣脫硫的主流。
自1930年代以來，已經研究和開發了大量的濕石灰石/石膏方法，並且自1960年代末以來，壹些裝置已經投入商業運行。ABB第壹套實用的濕法煙氣脫硫系統於1968年在美國投入使用。1977比肖夫公司制造了歐洲第壹臺石灰/石灰石石膏法演示裝置。箕子熱電廠1、2號機組采用IHI(石川島播種磨)第壹套大型脫硫裝置1976，采用文丘裏管2塔石灰石-石膏混合脫硫法。三菱重工在1964完成了第壹套設備，並根據其運行性能開發了煙氣脫硫裝置。
第壹代煙氣脫硫系統:美國和日本在20世紀70年代開始安裝。早期的FGD系統包括以下工藝:石灰基流體；鈉基溶液；石灰石基流體；堿性粉煤灰基流體；雙堿(石灰和鈉)；鎂基流體；韋爾曼-洛德過程。吸收類型廣泛，包括通風型、垂直逆流噴射塔和水平噴射塔，並使用壹些內部結構如塔盤、填料和玻璃球來強化反應。
第壹代FGD的脫硫效率壹般為70%~85%。
除了少數，副產品沒有商業價值，只能作為廢物排放。只有鎂法和韋爾曼-洛德法生產具有商業價值的硫磺和硫酸。其特點是初期投資低，運行維護成本高，系統可靠性低。結垢和材料失效是最大的問題。隨著經驗的增長，工藝改進了，運維成本降低了，可靠性提高了。
第二代煙氣脫硫系統
安裝始於20世紀80年代初。為了克服第壹代系統中的結垢和物料問題，出現了幹式噴射吸收器，噴入爐膛和煙道的石灰和石灰石也接近商業運行。但是主流的FGD技術仍然是以石灰和石灰石為主的濕法清洗方式，使用填料和玻璃球的通風清洗方式已經消失。最常見的是改進型噴射塔和淋浴塔盤。不同的過程有不同的效率。初始幹噴法脫硫可達70%~80%，某些改進情況下可達90%，爐膛和煙道噴吹法可達30%~50%，但反應物消耗量大。隨著工藝和操作經驗的提高，效率可以達到90%。美國第二代FGD系統的所有副產品都作為廢物排放。而在日本和德國，固體副產物是以石灰石為主的濕法清洗方式進行強制氧化，以獲得在壹些工農業領域具有商業價值的石膏。第二代煙氣脫硫系統在運行和維護成本以及系統可靠性方面取得了進步。
第三代煙氣脫硫系統
改進了爐膛和煙道的噴吹工藝，發展了LIFAC和流化床技術。通過廣泛采用強制氧化和鈍化技術，影響石灰和石灰石系統可靠性的結垢問題已基本解決。隨著對化學過程的進壹步了解和DBA等添加劑的使用，這些系統的可靠性可以達到95%以上。第二代煙氣脫硫系統采用了鈍化技術和DBA來解決存在的問題。這些系統中的許多具有95%或更高的脫硫效率。某些系統的固體副產品可應用於農業和工業。在德國和日本，石膏生產已經成為電廠的常規項目。隨著設備可靠性的提高，設置冗余設備的必要性降低，單個反應器的煙氣處理能力增加。上世紀70年代，由於投資大，運行費用高，存在腐蝕、結垢、堵塞等問題，在火力發電廠中名聲不佳。經過15年的實踐和改進，工作性能和可靠性有了很大的提高，投資和運行費用大大降低，這使其以下優勢凸顯出來:(1)具有長期的火電廠應用經驗；(2)脫硫效率和吸收利用率高(部分機組Ca/S接近1時，脫硫率超過90%)；(3)可用性好(最近安裝的機組可用性已超過90%)。人們對濕法的觀念發生了變化。