20世紀初，電子學的發展使人們能夠利用某些材料的壓電效應和磁致伸縮效應制作各種機電換能器。1917年，法國物理學家朗之萬用天然壓電應時制作了壹個夾層超聲換能器，並用它來探測海底的潛艇。隨著超聲在軍事和國民經濟領域應用的不斷發展，出現了超聲功率更高的磁致伸縮換能器和各種不同用途的超聲換能器，如電換能器、電磁換能器和靜電換能器。
隨著材料科學的發展，應用最廣泛的壓電換能器已經從天然壓電晶體發展到機電耦合系數高、價格低、性能好的壓電陶瓷、人工壓電單晶、壓電半導體和塑料壓電薄膜。產生和檢測超聲波的頻率也從幾十千赫增加到幾千兆赫。產生和接收的波型也從簡單的縱波擴展到橫波、扭轉波、彎曲波、表面波等。例如，頻率從幾十兆赫到幾千兆赫的微表面波已經成功地用於雷達、電子通信和成像技術。
近年來，為了滿足材料結構等基礎研究的需要，超聲波的產生和接收仍在向更高的頻率發展(10 & amp；sup 1；& ampsup2Hector above)開發。比如可以直接在介質端面蒸鍍或濺射壓電薄膜或磁致伸縮鐵磁薄膜，可以獲得幾百MHz到幾萬MHz的超聲波；利用凹面微波諧振腔，在應時棒中可以獲得數萬兆赫的超聲波。此外，通過熱脈沖、半導體雪崩、超導結和光子與聲子之間的相互作用，可以產生或接收更高頻率的超聲波。