戰國初屬魏，後屬趙。
秦朝並入天下後，為上谷巨鹿之地。
西漢初，夏波縣設在莘縣東南，桃仙縣於漢高祖十二年(公元195年)設在磨頭地區，均屬都城。
東漢夏波縣屬安平國，桃仙縣廢。
金霞波縣還是安平縣。
北魏夏波縣遷至莘縣以東，屬昌樂縣。
北周建德六年(577)，夏波縣恢復舊制。
隋初廢郡，開十六年(596年)在饒陽設深州，“以州西神池為名”。大業二年(606)廢州，其地分博陵、河間兩縣。
唐武德四年(621)，回到安平，定居深州，謀求移居饒陽，統領安平、饒陽、無為三縣。貞觀十七年(643)州廢止。先天元年(712)，鹿澤縣位於九洲村壹帶，2000年遷都深州。天寶元年(742)，深州改饒陽郡。甘源元年(758)復歸深州，永泰元年(765)領陸澤、夏波、武強、安平五年，屬河北路。
五代周顯德二年(955年)，在裏彥口(今嘉城西)設靜安軍，移駐博縣在此治理，郡由軍統領。
宋永熙第二年(985年)棄靖安軍，第三年(986年)赴夏波郡，第四年(987年)設靖安郡。始於陸澤遷深州管轄這壹帶，統領靖安、束鹿、饒陽、安平、武強五縣，隸屬河北西路。陸澤放逐廢物。
金，深州屬河北東路。
元太祖十九年(1224)廢州，靖安縣劃歸東州。太宗六年(1234)，恢復神州，治靖安，遷河間府。太宗十年(1238)改為李真路，統領饒陽、安平、武強、蜀道、靖安五縣。後領靖安、衡水兩縣。
明吳江二年(1369)，靖安郡入深州，州領衡水1郡。永樂十年(1412)，遷武家莊，壹州，即今天的治所，屬實府。
清雍正二年(1724)升為直隸州，統領武強、饒陽、安平三縣，隸屬正定府。宣彤三年(1911)屬直隸清河。
民國二年(1913)，深州改為深縣，隸屬直隸範陽路。民國三年(1914)更名為保定路。民國十七年(1928)，直隸河北省。民國二十六年(1937)，莘縣為第九行政監察區，駐莘縣。後改為第十三行政監察區。民國三十四年(1945)三月，沈北縣與深南縣合並為深縣；八月，神樹縣撤銷；11屬於第十行政監察區，機構仍在莘縣。民國三十五年(1946)，五月隸屬冀中行署第十壹機構。民國三十八年(1949)八月，屬河北省衡水地區。
1952 165438+10月改為石家莊地區。1960 3月改為石家莊市。1961 5月改為石家莊地區。1962 7月改為衡水地區。
1994年7月4日，經國務院批準，撤銷莘縣設立深州市。
1996 7月10，衡水地區改為地級衡水市，深州市仍屬衡水市。