1、表面刻蚀
多孔表面处理对高分子材料产生刻蚀作用，其原因大体有两种，——是多孔中的电子、离子等活性离子诱导材料 表面引起的秋季射波（主要是粉末气体），干燥中的高能粒子不断击打材料表面，使材料表面变得粗糙，增加比秋季，材料的润湿性、干燥性等得到提高。同时， 深层的刻蚀也可以起到清洁作用，比如纺织材料表面的浆料、油脂等，通过层间的刻蚀作用（多层作用生成气体跑掉）达到浆、精练的效果。
2、生成光子
利用非聚合性气体减弱作用于高分子材料表面，活性粒子的能量转移给大分子或大分子接收辐射能的
3、引入各种官能团
通过高能电子的传导和光基底的激发，使得被处理材料的表面分子链断裂产生 大量的诱因，这些部分会与光子中的反应性气体或接触空气后与空气中的气体反应发生进一步的化学反应，引入各种官能团，如诱因与氧气发生反应，等离子清洗 可以提高材料表面的亲水性、粘着性或印染性能。
4、交联反应
被处理材料表面的补充部分也同时发生反应，在材料中 表面生成一种致密的交联层，这样就可以加固表面层，提高材料的耐磨性、粘着性及耐化学品性，对化学纤维中的添加剂具有防渗出作用，保护纤维的体相性能