三坐標測量機作為壹種高精度的測量設備，可以用於平行度的測量。
三坐標測量機測量平行度操作步驟：
1. 將被測工件放置在三坐標測量機的測量臺上，並確定工件的位置和方向。
2. 通過計算機程序控制三坐標測量機的探針移動，使其與被測工件的表面接觸，並記錄下接觸點的位置坐標。
3. 根據需要測量平行度的兩個面或線，可以分別對它們進行測量。例如，如果要測量壹個平面與另壹個平面的平行度，可以將探針分別移動到兩個平面的位置，並記錄下每個位置的坐標。
4. 通過計算機程序計算出每個接觸點之間的距離和角度，以及它們之間的變化量。這些數據可以用來評估平行度誤差的大小。
除了三坐標測量機，還有其他壹些檢測工具可以用於平行度的測量，如激光測量儀。
激光測量儀是壹類非接觸式的測量工具，通過將激光束照射到被測工件表面上，並使用傳感器接收反射回來的激光束，可以測量出工件的形狀和尺寸，從而可以評估平行度誤差的大小。例如用SJ6000激光幹涉儀來測量雙直線導軌安裝的平行度：
平行度的測量方法及檢測工具有很多種，每種方法和工具都有其適用的場景和特點。在實際應用中，可以根據不同情況選擇合適的測量方法和檢測工具來進行平行度的測量。但不論是使用三坐標測量機還是激光幹涉儀等精密測量工具，都需要註意操作的準確性和測量的精度，以確保測量結果的可靠性和準確性。