蓋革計數器最初是在1908年由德國物理學家漢斯·蓋革和著名的英國物理學家盧
瑟福在α粒子散射實驗中，為了探測α粒子而設計的。後來在1928年，蓋革又和
他的學生米勒（Walther Müller）對其進行了改進[1]，使其可以用於探測所有
的電離輻射。
1947年，美國人Sidney H. Liebson在其博士學位研究中又對蓋革計數器做了進
壹步的改進[2]，使得蓋革管使用較低的工作電壓，並且顯著延長了其使用壽命
。這種改進也被稱為“鹵素計數器”。
1964年，在美國和德國都有了成熟技術，並且有專業的生產廠家開始量產。
蓋革計數器因為其造價低廉、使用方便、探測範圍廣泛，至今仍然被普遍地使
用於核物理學、醫學、粒子物理學及工業領域。
現代蓋革-米勒計數器已開始采用大規模集成電路代替了當年的三極管驅動發聲器
件的方式實現有效計數並可計算出相應的輻照強度及累積受輻照量，並可通過顯
示設備精確顯示出來。